CCZK-OGS光學電子槍鍍膜設(shè)備

腔體結(jié)構(gòu)：  立式前開門，臥式前開門，后置真空獲得系統(tǒng)

材質(zhì)用料：腔體均采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼鍛造

制膜種類：光學多層膜，光學增透膜、減反射膜（AR）、單點增透、截止濾光片、七彩裝飾功能膜等

轉(zhuǎn)動系統(tǒng)： 變頻調(diào)速，配備光學鍍膜傘和行星式工件轉(zhuǎn)架

電子束蒸發(fā)器： 配備大功率E型電子槍

輔助鍍膜： 可配備霍爾離子源或 高壓離子轟擊電源以提高附著力、膜層密度、穩(wěn)定折射率

加熱系統(tǒng)：鎧裝加熱管加熱方式，350℃溫控PID控制。

真空系統(tǒng)：擴散泵（可選分子泵）+羅茨泵+機械泵+維持泵+深冷系統(tǒng)（可選）

氣體控制： 采用多路氣體流量控制儀

膜層監(jiān)測： 配置采用美國INFICON產(chǎn)石英晶振膜厚儀，可實現(xiàn)膜層參數(shù)的儲存與自動調(diào)用

智能控制： PLC智能控制+HMI全彩人機觸控界面，實現(xiàn)邏輯全自動控制

報警及保護：異常情況進行報警，并執(zhí)行相應(yīng)保護措施。

其他技術(shù)參數(shù)：

極限真空： 5.0×10-4Pa

抽氣速率： 5.0*10-2≤5min

水壓流速≥0.2Mpa 3m3/h；水溫≤25℃；氣壓：0.4-0.8Mpa；

備注：

一般規(guī)格： Φ1350*H1350，Φ1600mm*H1500mm,Φ2050mm*H1500mm，

真空室尺寸或設(shè)備配置可按客戶產(chǎn)品及特殊工藝要求訂做

光學鏡頭，光學鏡片（玻璃、PC等），高級AB彩亞克力，手機鋼化玻璃視窗，黃金管（石英紅外加熱管），濾光片，可鍍膜增透膜等各種膜層。